Zur
Untersuchung der im Bereich der Nanotechnologie hergestellten Materialien
dient u.a. die Elektronenmikroskopie. Zwei Rasterelektronenmikroskope (REM)
mit integrierten Ionenstrahlquellen dienen zur Oberflächen- und Tiefenprofilanalyse
sowie gezielten Präparation fester Proben in hauchdünne Plättchen.
Diese Plättchen können anschliessend im Transmissions-Elektronenmikroskop
(TEM) durchstrahlt werden. Damit ist es möglich, sogar einzelne Atome
sichtbar zu machen.
Foto:
caesar/Michael Sondermann
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Die
caesar-Arbeitsgruppe "Kombinatorische Materialforschung" entwickelt systematisch
Werkstoffe mit neuen Eigenschaften. Die Wissenschaftler konzentrieren sich
auf Funktionswerkstoffe für magnetoelektronische Geräte, miniaturisierte
Sensoren und Aktoren sowie für das zukunftsträchtige Feld der
Wasserstoffspeicherung. Für ihre Forschungsarbeiten hat die Gruppe
eine spezielle Anlage konzipiert und bauen lassen, die europaweit einmalig
ist. Unter extrem sauberen Ausgangsbedingungen (Ultrahochvakuum) erfolgt
die Beschichtung der Wafer mit den unterschiedlichen Materialien durch
den Einsatz kombinatorischer Sputter-Technologien. In-situ-Maskierungsverfahren
ermöglichen sogar die Herstellung kompletter Bauteile, ohne das Vakuum
zu brechen. Eine Besonderheit des Systems liegt darin, dass alle Arbeitsschritte
computergesteuert sind. Jedes Experiment ist bis ins letzte Detail wiederholbar.
Foto:
caesar/Bernd Vogel |